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适用范围:电子元件、集成电路、半导体材料、液晶显示器等生产用超纯水。工艺流程:原水→原水箱→原水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→阻垢/软化装置→保安过滤器→高压泵→反渗透→纯水箱→输送泵→混床/EDI→紫外除TOC→超纯化→紫外杀菌→终端过滤